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蘇州工業園區匯光科技有限公司
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半導體金相顯微鏡
12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡
12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡

產品型號:MX12R
發布時間:2018-6-8 16:43:30
訪問次數:718 次

半導體金相顯微鏡-12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡介紹

全新的12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡,支持≤300mm 晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計提升,為用戶提供更加靈活、快捷的操作體驗。

為用戶提供高效的半導體\FPD 光學檢測解決方案

仰角可調觀察筒

0-35°觀察角度可調,適合不同身高的用戶,降低了對工作環境的要求,讓不同的使用者都能找到上佳的觀察角度,減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞,大幅度提高工作效率。

全新離合驅動式載物臺

MX12R 采用離合式手柄,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,無需長時間捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動。避免長時間操作出現手麻現象,并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導軌傳動機構,移動更輕更順暢,產品更加穩定可靠。

安全、高速的電動式物鏡轉換器

設有前進、后退兩檔切換模式,可快速、精確定位到所需要的觀察倍率,重復定位精度高。機械式的切換模式,有效提升了轉換器的使用壽命。

按鍵觸手可及,助您提高工作效率

MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統,其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟,也使您的檢測工作也更加精確、靈活。

防震支架設計

機身由六端支架支撐,低重心、高穩定性全金屬機架,具備很好的抗震功能,確保像質穩定。

內置式靈活搬運裝置

MX12R 機身采用全金屬材質,穩定性非常棒。在底部兩端設有內置搬運裝置,搬運時,用戶只需將內置搬運手柄旋轉擰出,反向擰進,即可形成堅固的搬運裝置。此裝置的設定,能夠將機器重量均勻分配,只需兩人即可完成搬運,有效避免搬運過程中,無從下手、移動困難、重量分布不均勻、發生碰撞等諸多問題。搬運過程中,為防止儀器平臺移動而造成損壞,可將平臺鎖緊,以確保儀器的安全穩固性。

落射照明器

孔徑光闌與物鏡倍率自動匹配,無需再手動調節,更加快捷、高效,讓不同使用者都有同樣的觀察效果。

暗場模式下,光闌自動打開,減小使用者對顯微鏡的專業技術要求,讓顯微觀察簡單化。

滿足自動化的應用需求

● 全新升級的MX12RMOT,全自動操作模式,使您的檢測工作更加高效。

●  X\Y\Z 三軸電動控制,電動型物鏡轉換,孔徑光闌自動匹配。

●  可通過軟件或者手柄控制12 英寸平臺X、Y、Z 軸的運動,完成圖像拼接功能,完美的進行全局圖像的觀察、分析。

● 獨立的操作手柄讓平臺移動更加簡單、方便,避免了因人員操作不當等原因引起的平臺損壞。

豐富的應用領域

MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。

豐富多樣的各項附件可滿足多種工作環境與觀察模式為您展現真實、清晰的顯微圖像

國際領先級大視野目鏡

● 配置25mm 寬視野目鏡,相對于常規22mm 的視場范圍,視野更加平坦、寬廣,并且視場邊緣都能保證清晰明亮,給用戶更加舒適的視覺感受。

● 提供更加平坦的觀察范圍,提高工作效率。更大值域屈光度調節范圍可滿足更多用戶的使用需求。

長工作距物鏡

● 配置全套專業半復消色差金相物鏡,采用高透過率鏡片和先進的鍍膜技術。

● 長工作距設計,可有效避免用戶在切換時物鏡與樣品發生碰撞。配置20X 長工作距物鏡,滿足工業檢測領域的需求。

● 每個鏡頭均嚴格挑選高透過率的鏡片和先進的鍍膜技術,可真實還原樣品的自然色彩。

型號

倍率

數值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠明暗場半復消金相DIC物鏡

5X

0.15

13.5

-

45

10X

0.30

9.0

-

20X

0.50

2.5

0

50X

0.80

1.0

0

100X

0.90

1.0

0

型號

倍率

數值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠長工作距明暗場半復消金相DIC物鏡

20X

0.40

8.5

0

45

型號

倍率

數值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠長工作距明暗場半復金相物鏡

50X

0.55

7.50

0

45

100X

0.80

2.1

型號

倍率

數值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠明場半復消DIC物鏡

5X

0.15

19.5

-

45

10X

0.30

10.9

-

20X

0.50

3.2

0

50X

0.80

1.2

0

100X

0.90

1.0

0

諾曼爾斯基微分干涉襯比系統

● 用高性能微分干涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差,轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現出來,廣泛用于LCD 導電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測等領域。

系統配置圖

外形尺寸圖

12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡MX12R配置參數

光學系統

無限遠色差校正光學系統

觀察方式

明場/ 暗場/ 偏光/DIC

觀察筒

無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像, 瞳距調節:50-76mm,分光比100:0 或0:100

目  鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃版

物  鏡

無限遠明暗場半復消金相DIC 物鏡5X 10X 20X 50X 100

無限遠長工作距明暗場半復消金相DIC 物鏡20X

無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X 100X

轉換器

明暗場六孔電動轉換器,帶DIC 插槽

機架組

反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V 寬電壓系統

透反機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V 寬電壓系統

載物臺

右手位14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平臺面積    718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動    ;玻璃載物臺板 ( 反射用)

電動平臺

電動平臺:面積495mmX641mm,移動范圍:306mmX306mm ;軟件控制X、Y 移動,重復定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺

照明系統

明暗場反射照明器, 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌, 中心均可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像附件

0.5X/0.65X/1X    攝像接筒,C 型接口,可調焦

其  他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC 組件

相  機

可配600萬、1200萬、2000萬高清CCD相機

軟  件

專業量測軟件、定制化檢測軟件

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